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國產(chǎn)光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會，與清華共享專利
日期：2021-09-18 11:30:32
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今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創(chuàng)板成功過會。華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。
光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機龍頭上海微電子的供應(yīng)商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機雙工件臺的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個項目。
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光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機龍頭上海微電子的供應(yīng)商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機雙工件臺的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個項目。
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